微型机电系统技术是一个新兴的技术领域,而微执行器又是复杂微机电系统的关键技术之一,常用的微执行器根据其驱动方式可分为压电式、静电式、外形记忆合金驱动等。压电式和静电式微执行器是目前应用较广...
http://www.sensors.hk/support/8-cn.html可以将所观测对象的压力、温度、光强度等信号转换成所需要的电信号,并通过微执行器按照要求进行对目标的控制。同时,每个系统不是独立的,它可以通过接口与其...
http://www.sensors.hk/support/6-cn.html平行平板式静电微执行器是最常见的静电微执行器。已有的解析模型表明[6, 12] 这类静电微执行器的Pull-in失稳位置发生在极板间距的三分之一处。但是,这一结果...
http://www.sensors.hk/support/7-cn.html