件的尺寸从微米级到毫米级、甚至达到纳米级,主要采用精密加工、微电子以及微机电系统技术和纳米技术,实现传感器尺寸的缩小;就集成的传感器而言,微传感器是指...
http://www.sensors.hk/news/9-cn.htmlMEMS是微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems)的英文缩写,是集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、...
http://www.sensors.hk/support/26-cn.htmlMEMS(微机电系统)是在集成电路生产技术和专用的微机电加工方法的基础上发展起来的高新技术,用MEMS技术研制的压力传感器具有体积小、重量轻、响应快、灵敏度高、...
http://www.sensors.hk/support/22-cn.html微型机电系统技术是一个新兴的技术领域,而微执行器又是复杂微机电系统的关键技术之一,常用的微执行器根据其驱动方式可分为压电式、静电式、外形记忆合金驱动等。压电式和静电式微执行器是目前应用较广泛的微执行器,它们...
http://www.sensors.hk/support/8-cn.html