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三种常见MEMS微执行器的原理及特点

2014-07-17 展誉传感 742
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微型机电系统,即MEMS(MicroElectric-MechanicalSystem)是指及微型传感器、执行器及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的完整微电子机械系统。MEMS是在微电子学科基础上发展起来,同时,它又有是多学科交叉的学科。MEMS可以将所观测对象的压力、温度、光强度等信号转换成所需要的电信号,并通过微执行器按照要求进行对目标的控制。同时,每个系统不是独立的,它可以通过接口与其他的系统进行互联。

其中,微执行器是MEMS的核心部分,它既可以为微系统提供动力,也可以成为微系统的操作和执行单元。因此微执行器有许多种不同的驱动方式。常见的驱动方式主要有:静电驱动、电磁驱动、热驱动、光驱动、形状记忆合金(SMA)驱动和磁致伸缩驱动等形式。本文将介绍静电驱动、磁场力驱动和热效应驱动的微执行器。

从驱动形式角度来看,有许多种微执行器,但常用的只有三种:电场力、磁场力和热效应驱动。

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