支持与下载

薄膜型超磁致伸缩微执行器研究

2014-07-17 展誉传感 700
立即下载

微型机电系统技术是一个新兴的技术领域,而微执行器又是复杂微机电系统的关键技术之一,常用的微执行器根据其驱动方式可分为压电式、静电式、外形记忆合金驱动等。压电式和静电式微执行器是目前应用较广泛的微执行器,它们具有精度高、不发热、响应速度较快等优点,但输出力小、驱动电压高等缺点也限制了它们的应用;而外形记忆合金虽然是已知的功能材料中变形量最大的,但它的响应速度较慢,且变形不连续,因而也限制了其应用。

超磁致伸缩材料是一种新型高效的磁—机械能转换材料,具有应变大、能量密度高、机电藕荷系数大、响应速度、输出力大等优点。从其诞生开始,便引起了工业界的重视,已广泛地应用于减震、阀门控制、微定位、机械传动机构、振动器、传感器及声纳系统等方面。

近年来,在磁致伸缩应用领域又出现了一个新的研究热点—超磁致伸缩薄膜的研究与应用。许多研究者采用溅射方法在非磁性基片上制备了稀土—过渡金属非晶薄膜,并对薄膜的结构和磁致伸缩特性进行了研究,发现磁致伸缩薄膜具有良好的软磁性能,磁晶各向异性值低,在室暖和低磁场下能产生很大的磁致伸缩应变。与通常的体磁致伸缩材料相比,超磁致伸缩薄膜的制造过程轻易和传统的半导体工艺联系起来,因而成本较低,并且由于薄膜中的二维磁弹性相互作用使超磁致伸缩材料又具有一些新的功能,这对于超磁致伸缩材料的实际应用具有重要意义。

可以说,正是由于超磁致伸缩薄膜材料的种种优点,决定了其在微型执行器中有着不可估量的发展前景。目前,从事微型机电系统技术方面的研究人员已将目光纷纷投向这一新型的驱动方式。

标签: 执行器
返回顶部